| 取放定位精度 | ±10um |
|---|---|
| 夾盤尺寸 | JEDEC Tray-140x320mm |
| IC尺寸 | ≦15mm(D)/3mm-11.4mm(W)/0.9-5mm(H) |
| 直進範圍 | Wafers:300mm-400mm |
| 旋轉範圍 | Pick-Place heads:90°/180°/270° |
| 取放速度 | 8000以上 |
| 料管尺寸 | 530mm-330mm(D),8mm-16mm(W),3mm-10mm(H) |
| 系統需求 | Power:110V AC,50/60Hz,1Phase;Pneumatic source:5kg/cm²;Vacuum:450mm-Hg |